半導体、液晶などの製造装置に組み込みクリーン度確保に貢献します
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あらゆる産業分野に

産業分野円グラフ
半導体・FPD分野

半導体・FPD分野

バイオ・食品・医療分野

バイオ・食品・医療分野

電子・エネルギー分野

電子・エネルギー分野

あらゆる産業分野に

エレクトロニクス、バイオテクノロジー、セラミックスなどの先端技術ばかりでなく、医療・医薬、食品、精密、光学などの産業分野でも、研究・実験・生産の過程にクリーン空間を必要とするケースが増えてきました。クリーンエアーづくりの基礎技術と、各種システム・機器づくりの生産力、そしてそれらを総合したエンジニアリング体制を確立し、クリーン空間にかかわるご要望にお応えしています。

トータルエンジニアリングへの対応

トータルエンジニアリングへの対応設置後のメンテナンスは、通常の生産設備よりはるかに細心の対応が重要になります。環境調査・測定作業からシステム計画・設計・施工・監理、そしてメンテナンスまでをシステマチックにお受けするエンジニアリング体制を整え、クリーンルームに関するあらゆるご相談ご要望にお応えいたしております。

クリーンモジュールユニット使用例

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クリーンブース

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各種製造装置組込み

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クリーンルームにおける局所化

1 製造装置への組込み

製造装置への組込み

2 セル行程での局所クリーン化

セル行程での局所クリーン化

3 クリーンブースへの活用

クリーンブースへの活用

4 クリーンコンベア等への活用

クリーンコンベア等への活用
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