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生産環境クリーンテクノロジー
最先端のデバイス工場で培ったクリーン技術と、測定・分析・シミュレーションに基づいたクリーンソリューションで建物（クリーンルーム）と生産装置（局所クリーン）の最適バランスを追求し、高い生産性と省エネルギーを両立した生産クリーン環境を実現します。
建物環境のクリーン化
お客様との綿密な打合せと豊富なクリーン技術で、性能的にもスペース的にも無駄のないクリーン環境を構築し、膨大なエネルギーを消費するクリーンルームの省エネルギー化と低コスト化、工期の短縮を行います。
パーティクルクリーンルーム
ケミカルクリーンルーム
薄型クリーンモジュールユニット
生産装置のクリーン化
必要な部分を必要なだけ、生産装置に合わせて局所的にクリーン化することにより省エネルギー化と高い生産性を実現します。また、ラインやレイアウトの変更にも柔軟に対応する事が出来ます。
クリーンチャンバー・ブース
生産工程の特性に合わせて、空気のクリーン化だけでなく、気流・温度・湿度・空気中のケミカル成分までも精密に制御された局所環境をご提供します。
クリーンブース
（コンベア用）
クリーンブース
（恒温恒湿タイプ）
クリーンブース
（ドライエアータイプ）
クリーンサーマルチャンバー
エアシャワー
クリーン保管システム（温調機能付クリーンバッファシステム）
生産途中の基板（LCD、PDPなど）を一時的にストックするためのラック式保管システムのクリーン化、 温度制御に取り組んでいます。
集塵装置
ブロア式クリーンバッファシステム
（温調機能付）
モニタリング・シミュレーション技術
安定したクリーン環境の確保で、生産効率の向上、歩留まり向上を目指します。監視やシミュレーションを通して、確かなクリーン環境をご提案します。
ケミカルセンサー
ケミカルフィルターを設置した生産装置内とクリーンルームにケミカルセンサーを設置し、LANにより事務所等に設置したパソコンで気中の分子汚染物質（総有機量など）の変化を監視します。
- ■リアルタイム有機物異常増加表示
- ■SiO2センサー交換時期表示
- ■ケミカルフィルター性能低下表示（交換時期表示）
- というような効果が得られます。
ダストモニタリングシステム
複数の測定ポイントの空気清浄度をリアルタイムにモニタリングするシステムです。
気流解析シミュレーション
清浄度維持のために必要な空気の流れを設計段階でシミュレーションし、クリーン空間づくりに活かします。
気流可視化
純水の蒸気で気流を可視化し、その状況をビデオ解析することで気流の解析を行います。
フープオープナー開閉時の気流確認
オープナー閉
オープナー開
クリーン診断での気流可視化検証
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