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供給技術
超純水製造システム
- ■半導体や液晶をはじめ、各電子部品の製造過程で使用される超純水製造システムは人間で例えるなら工場の血管です。当社では多くの実績で培った技術で高い品質を伴った安定稼動システムを構築します。
純水冷却循環システム
-
■品質
冷却水ポンプを制御することで、安定した温度コントロールを実現 -
■省エネ
冷却水廃熱を回収し、1次純水の熱源として廃熱リサイクルを実現
薬液供給システム
- ■半導体・液晶・電子部品工場の各製造工程へ、各薬液（強酸・強アルカリ・危険物等）を超高グレード品質でクリーンに安定して供給します。
- ・希釈ユニット
- ・濃度一定化ユニット
- ・調合ユニット
- ・メッキ浴管理ユニット
- ・チャージユニット
- ・送液/フィルターユニット ・・・等々
洗浄装置
現像装置
エッチング装置
メッキ装置
CMP装置
薬液供給監視
システム
薬液供給状態を総合監視し、製造工程の随所でモニタリングし製品品質管理へ適時情報供給
バーコードリーダーシステム
薬液の誤チャージを防止するため、薬液ボトルと照合し、照合確認後ユニットを機能させます
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