クリーンモジュールユニット
あらゆる産業分野に
半導体・FPD分野
バイオ・食品・医療分野
電子・エネルギー分野
あらゆる産業分野に
トータルエンジニアリングへの対応
クリーンモジュールユニット使用例
クリーンブース
各種製造装置組込み
クリーンルームにおける局所化
1 製造装置への組込み
2 セル行程での局所クリーン化
3 クリーンブースへの活用
4 クリーンコンベア等への活用

