クリーンモジュールユニット
![半導体、液晶などの製造装置に組み込みクリーン度確保に貢献します](/jp/air/fan/filterunit/img/index/hero_text.png)
![写真](/jp/air/fan/filterunit/img/index/hero_photo.jpg)
あらゆる産業分野に
![産業分野円グラフ](/jp/air/fan/filterunit/img/index/field_01.png)
![半導体・FPD分野](/jp/air/fan/filterunit/img/index/field_02.jpg)
半導体・FPD分野
![バイオ・食品・医療分野](/jp/air/fan/filterunit/img/index/field_03.jpg)
バイオ・食品・医療分野
![電子・エネルギー分野](/jp/air/fan/filterunit/img/index/field_04.jpg)
電子・エネルギー分野
あらゆる産業分野に
トータルエンジニアリングへの対応
クリーンモジュールユニット使用例
![画像](/jp/air/fan/filterunit/img/index/example_01.jpg)
クリーンブース
![画像](/jp/air/fan/filterunit/img/index/example_02.jpg)
各種製造装置組込み
![画像](/jp/air/fan/filterunit/img/index/example_03.jpg)
クリーンルームにおける局所化
1 製造装置への組込み
![製造装置への組込み](/jp/air/fan/filterunit/img/index/flow_01.png)
2 セル行程での局所クリーン化
![セル行程での局所クリーン化](/jp/air/fan/filterunit/img/index/flow_02.png)
3 クリーンブースへの活用
![クリーンブースへの活用](/jp/air/fan/filterunit/img/index/flow_03.png)
4 クリーンコンベア等への活用
![クリーンコンベア等への活用](/jp/air/fan/filterunit/img/index/flow_04.png)
半導体・FPD分野
バイオ・食品・医療分野
電子・エネルギー分野
クリーンブース
各種製造装置組込み
クリーンルームにおける局所化