クリーンモジュールユニット


あらゆる産業分野に


半導体・FPD分野

バイオ・食品・医療分野

電子・エネルギー分野
あらゆる産業分野に
トータルエンジニアリングへの対応
クリーンモジュールユニット使用例

クリーンブース

各種製造装置組込み

クリーンルームにおける局所化
1 製造装置への組込み

2 セル行程での局所クリーン化

3 クリーンブースへの活用

4 クリーンコンベア等への活用

半導体・FPD分野
バイオ・食品・医療分野
電子・エネルギー分野
クリーンブース
各種製造装置組込み
クリーンルームにおける局所化